钛酸锶（化学式 SrTiO3，简称 STO）单原子台阶高度标准物质用于校准扫描探针显微镜（SPM）和台阶仪等测量设备，确保这些设备在单原子层厚度（< 0.5 nm）测量时量值的准确性、可比性。

一、 样品制备

采用超高真空分子束外延（MBE）设备制备 STO 单原子台阶高度样品，将一片长×宽×高尺寸为10 mm×2 mm×0.5 mm 的 STO (001)衬底固定在基板上，然后将载有 STO 衬底的基板转移至超高真空MBE 设备内。MBE 设备本底真空小于 2.0×10^-10 mbar，加热过程腔体真空度优于 3.0×10^-9mbar，基板温度为 700℃的条件下，对 STO 衬底热处理 10 min，即可得到 STO 单原子台阶高度样品。测试合格后采用铝箔包装袋真空包装。

二、 溯源性及定值方法

采用纳米薄膜厚度校准装置（[2014]国量标计证第 273 号）X 射线衍射仪为标物定值。该校准装置基于布拉格方程，通过波长、角度测量的计量溯源，建立标准物质特性量值的计量溯源性，其中：角度测量量值通过激光干涉仪和自准直仪溯源至国家角度基准；X 射线波长测量量值通过单晶硅晶格参数溯源至长度的 SI 单位-米（m）。

三、 特性量值及不确定度

编号	名称	量值	扩展不确定度 U（k=2）
GBW(E)136709	钛酸锶单原子台阶高度标准物质	0.39nm	0.29nm

标准值的不确定度包括测量过程、测量设备、均匀性及稳定性等不确定度分量。

四、 均匀性及稳定性评估

参照 JJF1343 国家计量技术规范（等效 ISO 指南 35），采用原子力显微镜法，通过方差分析法进行均匀性评估，评估结果表明，样品均匀性良好；采用原子力显微镜法，对样品进行稳定性评估，评估结果表明，样品稳定性良好。

本标准物质自定值日期起有效期 7 个月，研制单位将继续跟踪监测该标准物质的稳定性，有效期内如发现量值变化，将及时通知用户。

五、 包装、贮存及使用

包装：本标准物质的内包装为半导体封装盒，外包装为铝箔真空袋，每包装为一片。

贮存：真空包装，阴凉、干燥处存放。使用时在标准物质划定的中心位置进行扫描图像。

使用注意事项：标准物质开封后立刻使用，使用时应保证取样工具等洁净避免沾污，轻拿轻放。建议本标准物质开封后立即使用，用后量值失效。